中科院上海硅酸盐研究所--功能薄膜材料物理性能及应用研究课题组
企业简介
      本课题组是中科院上海硅酸盐研究所下属功能薄膜材料专业研究小组,主要从事以下三方面研究:
(1)高性能硅基信息功能薄膜集成系统:包括薄膜生长过程的外延生长控制方法、薄膜的系统集成及铁电、压电原型器件等;
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